4 point probe writted by AIT

주의 : 아래 내용은 각종 기술자료를 참고하여 당사에서 직접 작성하였습니다.           블로그 등에 올리실 때는 반드시 출처( www.fpp.co.kr )를 밝혀주시기 바랍니다.     FAQ 1. 면저항 (ohm/sq = Ω/□ = Sheet resistance)이란? 면저항은 단위 ohm/sq로 표시됩니다. 여기서 sq는 ㅁ로도 표시되며, 미터법(cm 2 등)이 아닌 별도의 단위로서, 무한대의 면적으로 해석하는 것이 일반적입니다. 선저항은 두개의 probe로 임의의 거리에 대한 저항을 측정하지만, 면저항의 경우에는 동일한 간격의 4개탐침으로 측정하게 됩니다. 이때 쓰이는 Probe가 4-point probe이고, 일반적으로 탐침은 1mm간격으로 일렬구성된 probe를 사용하며, 4개의 탐침으로 전류와 전압을 측정하여, 저항값을 구한 후, 면저항 단위인 ohm/sq로 계산하기 위해 보정계수(C.F)를 적용합니다. 면저항값은 Wafer, LCD, 태양전지(Solar cell), 연료전지, OLED 등의 벌크 및 박막의 전도성을 검사하기 위하여 쓰입니다.   V/I = ohm ohm × C.F = ohm/sq 2. 비저항(ohm·cm)이란?   비저항은 물질의 고유저항으로서 순수물질의 경우에는 그 비저항값이 알려져 있지만, 혼합물의 경우 여러가지 방법에 의하여 구할 수 있습니다. 4-point probe방식의 면저항측정기를
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